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800nm制程工艺的专利技术对于gca来说如同鸡肋,但对于bsec如同神助,掌握后就能跨越1um制程工艺,掌握800nm制程工艺技术。
拥有了193nm的arfi准分子激光器的制造技术和800nm制程工艺的专利技术,但bsec还不能生产自主知识产权的1um制程工艺的光刻机。
为了将来不被美国政府卡脖子,未雨绸缪,bsec要掌握生产光刻机的三大核心技术:光源系统、光学系统和工作台系统,不断升级换代。
叮嘱邓国辉,bsec光刻机光源研究所研究清楚gmarf准分子激光器的工作原理和制造技术,光刻机光源公司自己生产;叮嘱陈伟长,bsec光刻机光学研究所自己研制成功6英寸晶圆和1um制程工艺的光学镜头和反射镜头,光刻机光学公司自己生产。
孙健承诺,bsec在2年内生产具有自主知识产权的6英寸晶圆和1um制程工艺的光刻机,淘宝控股公司掏钱奖励项�
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